中國晶片不呼吸國外「空氣」活不了？工業氣被壟斷現狀，急需突破

在氣體製備過程中，上游合成製備屬於化工生產過程，雖然不要求特殊的潔凈度，但氣體經過提純後，仍然需要滿足下游集成電路製造工藝的標準規範。

由於電子氣體具有化學活性，尤其是電子特氣在生產過程中，系統材料與半導體製造之間的要求必須一致，以防止雜質引入或氣體腐蝕造成泄漏和污染等危害。

穩定可靠性方面，電子特氣的品質標準包括純度、雜質顆粒含量等。即使是微小的變化也可能影響到下游半導體製造的成果。因此，為確保電子特氣產品的一致性，對氣體製備工藝系統的控制指標穩定性要求也非常高。